Методом компьютерного моделирования исследован процесс образования наноструктуры пленок меди при низкотемпературном осаждении. Получены временные зависимости шероховатости пленки. Показано, что образование наноструктуры связано с морфологической неустойчивостью поверхности в процессе осаждения. Механизм зарождения микротрещин в меди связан с флуктуационным зарождением на поверхности пленки зоны с дефектом упаковки. Развитие микротрещин и вакансионных кластеров, разделяющих наноблоки, определяется эффектом искривления траектории падающих атомов в силовом поле поверхностных атомов. Сделан вывод о переходе при низкотемпературном осаждении от стохастического роста к фазе упорядоченного роста нанокристаллов.

• Марченко Іван Григорович (1957–) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"