Ігнатенко П. І. Одержання і дослідження структури і складу плівок продуктів твердофазних реакцій / П. І. Ігнатенко, O. А. Гончаров, Д. M. Терпій, Н. П. Кляхіна // Фізика і хімія твердого тіла. - 2005. - 6, № 2. - С. 254-260. - Бібліогр.: 24 назв. - укp.Наведено результати досліджень плівок деяких боридів, нітридів і силіцидів, одержаних за допомогою різних методів іонного осадження. Показано, що фазоутворення та структура плівок хімічних сполук визначаються головним чином швидкістю осадження атомів на підкладку. Ключ. слова: іонне осадження, нітриди, бориди, підкладка, швидкість утворення, структура, фазовий склад Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|