Зубарев Е. Н. Определение химического состава промежуточных фаз в многослойных структурах Sc/Si при помощи электронной микроскопии поперечных срезов / Е. Н. Зубарев, Д. Л. Воронов, В. В. Кондратенко, Ю. П. Першин, В. А. Севрюкова, И. Ю. Михайлова // Вісн. Харк. нац. ун-ту. Сер. Фізика. - 2006. - N 739, вип. 9. - С. 141-144. - Библиогр.: 8 назв. - рус.Предложена электронно-микроскопическая методика определения среднего состава промежуточных фаз, образующихся между слоями чистых компонентов в многослойных структурах. Экспериментально определены толщины расходованных в химической реакции чистых компонентов и сравнены с расчетными значениями. Установлено, что в процессе изготовления многослойных композиций Sc/Si методом магнетронного распыления на межфазных границах образуется аморфная промежуточная фаза с составом, близким к силициду ScSi. Толщина этой фазы составляет примерно 3,8 нм на обеих межфазных границах раздела Sc-на-Si и Si-на-Sc. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.15 + Г116.1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж29137 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|