Запропоновано методику отримання однорідних тонких плівок нанокристалічного кремнію. Показано, що дана методика має гарну відтворюваність і високу технологічність і може бути використана для промислового виробництва елементів і приладів на основі нанокристалічного кремнію. Вивчено залежності люмінесцентних і структурних властивостей, а також хімічного складу плівок від режимів травлення методами фотолюмінесценції, растрової електронної мікроскопії, вторинно-іонної мас-спектрометрії й оже-електронної мікроскопії. Показано, що описана методика одержання нанокристалічного кремнію дає можливість контрольовано керувати характеристиками плівок з метою їх практичного використання в різних областях.

• Сизов Федір Федорович (1946–) (фізико-математичні науки)
• Хоменкова Лариса Юріївна (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"