Клюй М. І. Особливості технології плазмово- та фотостимульованого осадження тонких алмазоподібних вуглецевих плівок / М. І. Клюй, А. М. Лук'янов, В. Д. Осовский, В. П. Темченко, О. В. Гоменюк, Р. М. Мотренко // Фізика і хімія твердого тіла. - 2006. - 7, № 1. - С. 67-71. - Бібліогр.: 14 назв. - укp.Проведено систематичний аналіз варіантів конструкції модульної установки плазмово-фотостимульованого формування плівок, запропоновано оригінальну конструкцію плазмового реактора ємнісного типу. На основі запропонованих конструкторських і наукових підходів виготовлено експериментальний зразок установки, проведено її наладку та випробовування. Виготовлено експериментальну партію алмазоподібних вуглецевих плівок та, з метою оптимізації технологічних режимів осадження, досліджено вплив умов формування на їх властивості. Індекс рубрикатора НБУВ: В372.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|