Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000172424<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Бойко В. Г. Отработка технологии получения оксидных пленок для различных структур оптоэлектроники на промышленной установке магнетронного типа "Катод-1М" / В. Г. Бойко, С. Н. Гурьянов, Н. С. Заяц, М. А. Мухльо // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2005. - Вып. 40. - С. 143-148. - Библиогр.: 5 назв. - рус.Рассмотрена технология изготовления конденсаторных структур на основе диэлектриков Ta2O5, AlNdO3 и BaTiO3 на модернизированной промышленной установке магнетронного распыления "Катод-1М". Приведены параметры полученных пленок, достигнуты оптимальные условия их получения. Рассмотрены возможности дальнейшего улучшения свойств полученных пленок. Індекс рубрикатора НБУВ: З861 + К663.033
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|