РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000173853<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Голтв'янський Ю. В. 
Поліпшення фоточутливості Si-сенсорів, виготовлених методом акустостимульованої імплантації іонів бору та арсену / Ю. В. Голтв'янський, В. Ф. Мачулін, Я. М. Оліх, В. Г. Попов, Б. М. Романюк // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2007. - № 2. - С. 3-8. - Бібліогр.: 5 назв. - укp.

Досліджено спектральні характеристики кремнієвих сенсорів видимого та ультрафіолетового (УФ) випромінювання. Показано, що фоточутливість сенсорів, виготовлених за допомогою методу акустостимульованої імплантації іонів B та As, в ближній УФ області спектра на порядок перевищує чутливість аналогічних сенсорів, виготовлених без ультразвукової обробки. Дослідження профілів залягання імплантованих домішок показують, що у випадку домішки B даний ефект пояснюється зменшенням глибини p - n переходу, а у випадку As - зменшенням концентрації рекомбінаційно-активних центрів в області емітера та/або збільшенням електричної активації домішки. Запропоновано пояснення фізичних механізмів спостережуваних ефектів.


Індекс рубрикатора НБУВ: З854.22

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського