Дзян А. С. Предварительные активирующие обработки поверхности в процессе плазмохимического травления кремния и его соединений / А. С. Дзян, А. А. Евтух, Н. А. Семененко // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2005. - Вып. 40. - С. 204-214. - Библиогр.: 12 назв. - рус.Обнаружено существенное изменение скорости плазмохимического травления (ПХТ) кремния и ряда его соединений после предварительной обработки (ПО) их поверхности продуктами взаимодействия кислородсодержащей плазмы с полимерным или поверхностно-активным веществом. Показано, что степень изменения скорости ПХТ после ПО зависит от типа используемого при обработке вещества, а также травимого материала и от условий процесса ПХТ. Предложен механизм активирующего воздействия исследуемых ПО поверхности в процессе ПХТ: кремния, поликремния, нитрида кремния, диоксида кремния, силицидов молибдена и титана. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж68
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|