Сельська І. В. Рентгенівські дослідження структурних характеристик алмазних плівок, синтезованих на (111) Si / І. В. Сельська, П. І. Ігнатенко // Вісн. Донец. ун-ту. Сер. А. Природн. науки. - 2002. - № 1. - С. 260-264. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Рентгенодифракционным методом исследовано влияние параметров синтеза и толщины алмазной пленки, полученной методом химической транспортной реакции, на ее структурные характеристики. Установлено, что в пленках, выращенных на (111) Si при концентрации метана 2 % с увеличением толщины пленки значения структурных характеристик изменяются. Определено влияние давления газовой смеси на структурные характеристики алмазных пленок. В пленках, выращенных при концентрации метана 4 %, с повышением давления возрастают микродеформации. Індекс рубрикатора НБУВ: Л463.8
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж69583/Сер.А Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|