Методами рентгенівської дифрактометрії, електронної мікроскопії і вторинної іонної мас-спектрометрії досліджено фазовий і елементний склад плівок, одержаних методами іонної імплантації і конденсації та іонного бомбардування на підкладках Ta і W. Виявлено складний склад плівок по глибині, що містять, крім нітриду атомів підкладки, нітрид TiN і оксиди.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"