Рассмотрен сравнительный анализ технологических процессов производства матриц микролинз для пяти наиболее распространенных методов: расплавления, фотолитографии с зазором, полутоновой фотолитографии, предварительного формообразования и проекционной фотолитографии с дефокусировкой. Сравнительный анализ произведен с применением функций принадлежности из теории возможности по критерию "возможность правильного выполнения процесса с учетом всех влияющих факторов".

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"