На прикладі багатошарової плівки (БШП) (3,0 нм Ti/6,7 нм Si)20 на монокристалічному кремнії (100) з середнім по об'єму складом TiSi2 показано потенційні можливості методу спектральної еліпсометрії для вивчення спонтанних або викликаних термічним відпалом твердофазних реакцій в БШП. За результатами рентгенофазового аналізу після одержання БШП Ti/Si перебувала в рентгеноаморфному стані, і відпали в інтервалі температур 470 - 1070 K не супроводжувалися структурними змінами. Згідно ж з оптичними даними дифузійні

процеси, які супроводжуються структурними змінами, мають місце вже при відпалі за умови 470 К. На підставі порівняння експериментальних оптичних властивостей БШП Ti/Si, відпалених за різних температур, з модельними, одержаними для різних моделей структури БШП, зроблено висновки про формування в рентгеноаморфних БШП різних структур близького порядку. Незалежно від результатів рентгенофазового аналізу, якісний висновок про утворення кристалічних фаз, викликане кристалізаційним відпалом БШП Ti/Si при 1070 та 1170 K, можна зробити на підставі вивчення лише оптичних властивостей БШП.

• Павлова Олена Петрівна (фізико-математичні науки)
• Кудрявцев Юрій Володимирович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"