Аморфные углеродные (a-C) пленки нанесены магнетронным распылением при постоянном токе графитовой мишени в аргоновой плазме. Зависимость твердости и модуля упругости пленок от температуры осаждения и отжига в интервале 20 - 650 <$E symbol Р>C исследованы методом индентирования, а структура пленок - методами электронографии и комбинационного рассеяния света. Установлено, что повышение температуры подложки при конденсации приводит к снижению как твердости, так и модуля упругости a-C пленок. При отжиге a-C пленок, осажденных при комнатной температуре, эти параметры с температурой изменяются незначительно. Полученные результаты позволяют предположить, что структуру пленок формируют преимущественно <$E sp sup 2>-связанные атомы углерода. В интервале температур конденсации 50 - 450 <$E symbol Р>С происходит упорядоченное формирование ароматических колец и графитоподобных кластеров, и степень их упорядочения увеличивается с повышением температуры конденсации. При температурах конденсации <$E T~>>~450~symbol Р>C изменяется механизм роста С-пленки, и на подложке сразу образуются и растут зародыши графитовой фазы. Отжиг С-пленок в интервале 50 - 300 <$E symbol Р>C вызывает интенсивное преобразование искаженных пяти- и шестиугольных ароматических колец в правильные и их упорядочение в плоскости подложки без образования графитовых фрагментов. Дальнейшее повышение температуры отжига слабо влияет на структурные изменения в пленке. Указанные изменения структуры пленок являются причиной изменений твердости и модуля упругости в исследованном интервале температур.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"