Большакова І. А. Тонкоплівковий гальваномагнітний 3-D сенсор / І. А. Большакова, Р. Л. Голяка, О. Ю. Макідо, А. В. Марусенков // Вісн. Нац. ун-ту "Львів. політехніка". - 2006. - № 558. - С. 35-41. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.Проаналізовано проблеми створення гальваномагнітних 3-D сенсорів, які здатні вимірювати три складові BX, BY, BZ вектора індукції магнітного поля. Такі сенсори передбачають використання структур на базі технології кремнієвих інтегральних схем. Їх проблемою є низька радіаційна та температурна стійкість. Запропоновано нову конструкцію 3-D сенсора, який виготовляється меза-технологією на тонких плівках напівпровідників групи <$E roman {A sup 3 B} sup 5>, що забезпечує здатність його функціонування за екстремальних умов експлуатації. Наведено аналіз параметрів експериментальних зразків тонкоплівкових 3-D сенсорів. Індекс рубрикатора НБУВ: З222-5
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж29409/А Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|