Дружинін А. О. Фізичні основи створення сенсорів механічних величин для низьких температур на основі мікрокристалів кремнію / А. О. Дружинін, І. Й. Мар'ямова, О. П. Кутраков, І. В. Павловський // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2006. - № 3. - С. 5-13. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Комплексно досліджено електропровідність, магнітоопір (МО) і п'єзоопір (ПО) мікрокристалів (МК) кремнію p-типу, легованих бором, із орієнтацією <111> у діапазоні температур 4,2 - 300 K і магнітних полях до 14 Тл. Досліджено вплив одновісної деформації на питомий опір і МО МК Si з різною концентрацією бору (КБ) за низьких температур. У МК p-Si з КБ поблизу переходу метал - діелектрик із діелектричного боку у разі гелієвих температур виявлено гігантський некласичний ПО (НПО), коефіцієнт тензочутливості таких кристалів за температури 4,2 K дорівнює <$E roman GF sub 4,2K~=~-5,7~times~10 sup 5> у процесі деформації стиску. НПО зумовлений стрибковою провідністю в цих кристалах за низьких температур; визначено енергії активації E2 і E3, їх значення змінюються під дією деформації у разі кріогенних температур (КТ). Виміряно тензометричні характеристики цих кристалів, закріплених на пружних елементах з інвару, в широкому діапазоні температур 4,2 - 300 K і деформацій <$E epsilon~=~0~-~symbol С~1,2~times~10 sup -3> відн. од. Одержані характеристики дозволяють прогнозувати параметри п'єзорезистивних сенсорів механічних величин на базі цих кристалів. Показано можливість створення надчутливих сенсорів механічних величин для роботи за умов КТ на базі НПО в МК Si(B). Наведено приклади розроблених сенсорів деформації, сенсора тиску та сенсора рівня кріогенних рідин. Індекс рубрикатора НБУВ: З843.413
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|