РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000181498<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Косско И. А. 
Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И. А. Косско, А. А. Крючин, А. В. Панкратова, Ф. И. Коржинский, Л. Д. Середа, И. В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. - 2006. - 8, № 2. - С. 6-14. - Библиогр.: 12 назв. - рус.

Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур (РМС) на кремниевых подложках. Показано, что полученные РМС можно использовать для записи, тиражирования и хранения информации как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии.


Ключ. слова: рельефные микроструктуры, электронно-лучевая литография, химическое травление
Індекс рубрикатора НБУВ: З973-061/069

Рубрики:
 Комп'ютери та програмування 

Шифр НБУВ: Ж16550 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського