Косско И. А. Формирование рельефных микроструктур на кремниевых подложках / И. А. Косско, А. А. Крючин, А. В. Панкратова, Ф. И. Коржинский, Л. Д. Середа, И. В. Середа // Реєстрація, зберігання і оброб. даних. - 2006. - 8, № 2. - С. 6-14. - Библиогр.: 12 назв. - рус.Рассмотрена возможность получения рельефных микроструктур (РМС) на кремниевых подложках. Показано, что полученные РМС можно использовать для записи, тиражирования и хранения информации как в цифровом, так и в аналоговом виде. Для получения микроструктур использован способ электронно-лучевой литографии. Ключ. слова: рельефные микроструктуры, электронно-лучевая литография, химическое травление Індекс рубрикатора НБУВ: З973-061/069
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж16550 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|