Исследованы особенности адсорбционно-активной наноструктурированной пленки CeOx толщиной <$E symbol Ы~2> нм, напыленной взрывным методом на поверхность p-Si(100) при температуре подложки <$E symbol Ы~200~symbol Р>C. Получены параметры рельефа пленки методом атомно-силовой микроскопии, Ce3d-, Ce4d-, O1s-спектры пленки - методом рентгеновской фотоэлектронной спектроскопии, a CeMNN- и OKLL-спектры - методом оже-спектроскопии. Установлено, что данный метод напыления позволяет получать островковые наноструктурированные пленки CeOх с промежуточной валентностью атомов Ce в пленке, с химическим составом, неоднородным по глубине пленки.

Індекс рубрикатора НБУВ: Ж620 + В371.236

Рубрики:

Нанотехнології

Шифр НБУВ: Ж72631 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Шмирєва Олександра Миколаївна (технічні науки)
• Леонов Дмитро Сергійович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"