РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000181940<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Томашик З. Ф. 
Хіміко-динамічне полірування GaAs та GaSb травильними сумішами систем HNO3 - HCl - розчинник / З. Ф. Томашик, О. С. Чернюк, В. М. Томашик, В. І. Гриців, Н. В. Кусяк // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2005. - Вып. 40. - С. 162-166. - Бібліогр.: 7 назв. - укp.

За відтворюваних гідродинамічних умов досліджено механізм і кінетику хімічної взаємодії GaAs і GaSb з розчинами систем HNO3 - HCl - H2O (ацетатна, цитратна кислота). Визначено основні закономірності хімічного травлення вказаних напівпровідникових матеріалів і побудовано поверхні однакових швидкостей розчинення. З'ясовано вплив вмісту компонентів травильних композицій на швидкість і якість полірування поверхні зразків GaSb і GaAs та визначено концентраційні межі розчинів, які можна використовувати для хіміко-динамічного полірування поверхні зразків GaSb і GaAs.


Індекс рубрикатора НБУВ: З843.3-06

Рубрики:
 Напівпровідникові матеріали та вироби 

Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського