Ющук С. І. Хімічне травлення ферогранатових плівок / С. І. Ющук, С. О. Юр'єв, В. Й. Ніколайчук, Б. Р. Ціж, П. С. Костюк // Вісн. Нац. ун-ту "Львів. політехніка". - 2006. - № 558. - С. 75-79. - Бібліогр.: 7 назв. - укp.Досліджено процеси хімічного травлення ферогранатових епітаксійних плівок Y3Fe5O12 і (Y, Sm, Lu, Ca)3(Fe, Ge)5O12 в ортофосфорній кислоті в температурному інтервалі 60 - 175 <$E symbol Р>С. Розроблено методи формування захисних покриттів і масок під час травлення з силіконового клею ПМС-200 і фоторезисту ФП-383. Показано, що на поверхні феритової епітаксійної структури за допомогою хімічного травлення можна формувати ферогранатові елементи круглої форми діаметром 0,5 - 3 мм з вузькими лініями феромагнітного резонансу. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.226 + З843.395-060.7
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж29409/А Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|