Досліджено вплив залишкових термічних напружень, що виникають як наслідок неузгодження коефіцієнтів термічного розширення плівки та підкладки, на тензочутливість (ТЧ) резистивних товстих плівок на основі Sn0,9Sb0,1O2. Установлено, що у процесі вимірювання за допомогою методу триточкового згинання значення коефіцієнта ТЧ плівок залежить від знака залишкових напружень на межі плівка - підкладка. Спостережений ефект можна пояснити суттєвим впливом процесів перебудови шляхів протікання заряду на зміну величини електроопору у разі деформування.

• Бережинський Ігор Леонідович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"