Показано можливості спектральної еліпсометрії та магнетооптичної (МО) спектроскопії для вивчення структури та особливостей фізичних властивостей багатошарових металевих плівок (БШП) з товщинами складаючих їх шарів порядку одиниць нанометрів. Основний підхід дослідження базується на порівнянні експериментально одержаних оптичних та МО властивостей БШП з модельними, які одержано для різних моделей структури БШП. Показано, що даний підхід дозволяє визначити природу незвичайних МО властивостей, а також природу інтерфейсної області БШП, які складаються з шарів благородних та 3d-перехідних металів (ПМ). Показано високу чутливість спектральної еліпсометрії для вивчення твердотільних реакцій у БШП 3d-ПМ/Si, зумовлених іонним бомбардуванням або термічним відпалом. Оптичні властивості різних силіцидів 3d-ПМ, які сформувались спонтанно або завдяки зовнішньому впливу, вивчено експериментально та порівняно з результатами теоретичних першопринципних розрахунків.

Ключ. слова: spectroscopic ellipsometry, magnetooptical spectroscopy, multilayered films, solid-state reactions, ion-beam mixing
Індекс рубрикатора НБУВ: К202.6

Рубрики:

Тонкі шари (плівки) металів і сплавів

Шифр НБУВ: Ж23022 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"