Досліджено оптичні та механічні властивості алмазоподібних вуглецевих плівок (АВП), одержаних за допомогою методу плазмохімічного осадження (PE-CVD - plasma-enhanced chemical vapor deposition) із газової суміші CH4 - H2 - N2 із різним вмістом азоту. Змінено також потужність розряду (ПР) і тиск у плазмовому реакторі. Оптичні властивості АВП досліджено за допомогою еліпсометричних методів, виміряно спектри пропускання та відбиття. Для дослідження механічних властивостей плівок використано метод наноіндентування та вивчено їх стійкість проти спрацьовування. Товщину плівок додатково визначено за допомогою профілометра та порівняно з даними еліпсометричних досліджень. Показано, що із збільшенням вмісту азоту в плівках і зменшенням ПР збільшується оптична ширина забороненої зони плівок, а отже, і їх пропускання. У цьому випадку твердість плівок і показник заломлення зменшуються. Швидкість осадження плівок у разі збільшення ПР суттєво зростає, тоді як вміст азоту в газовій суміші менше впливає на цю характеристику.

• Клюй Микола Іванович (фізико-математичні науки)
• Литовченко Володимир Григорович (1931–2021) (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"