Dekhtyaruk L. V. Procedure for estimating the contribution of interface scattering of electrons to the specific resistance and the temperature coefficient of resistance of films = Методика оцінки внеску інтерфейсного розсіяння на межі поділу шарів у величину питомого опору і термічного коефіцієнта опору плівок / L. V. Dekhtyaruk, I. M. Pazukha, I. Yu. Protsenko // Укр. фіз. журн. - 2006. - 51, № 7. - С. 728-732. - Библиогр.: 15 назв. - англ.Запропоновано методику оцінки внеску у питомий опір (ПО) і термічний коефіцієнт опору (ТКО) розсіяння електронів на межі поділу (МП) шарів (інтерфейсі) плівкової системи (ПС) на основі Cu, в якій штучно змодельовано МП двох шарів шляхом зупинки конденсації плівки на певний час. Методика оцінки базується на порівнянні ПО та ТКО одношарової плівки і двошарової ПС однакової товщини, в яких є ідентичними умови конденсації, тип і концентрація дефектів (контролюється порівнянням дефектів спектрів, розрахованих за методикою Венда) і концентрація зерен із дефектами пакування (контролюється за допомогою методу електронної мікроскопії). Одержано, що інтерфейсне розсіяння призводить до збільшення ПО на 12 - 21 % і до зменшення ТКО на 9 - 20 % в інтервалі товщин 60 - 90 нм. Індекс рубрикатора НБУВ: К232.102.6 + К663.030.022
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ
Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|