РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000183991<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Косско И. А. 
Si - SiO2- и Si - SiO2 - SiC-штампы / И. А. Косско, А. А. Крючин, Ф. И. Коржинский, Л. Д. Середа, И. В. Середа // Сверхтвердые материалы. - 2006. - № 3. - С. 44-51. - Библиогр.: 16 назв. - рус.

Рассмотрена возможность формирования информационного рельефа в оксиде кремния, выращенном на массивном монокристаллическом кремнии. Для получения микрорельефа использован способ электронной литографии и химического травления. Для дополнительного повышения твердости, износостойкости и химической стойкости штампа предложен способ нанесения на поверхность кремния тонкой пленки карбида кремния. Обсуждено использование полученного штампа для прямого мастеринга оптических носителей информации и для долговременного хранения данных.


Індекс рубрикатора НБУВ: З843.312 + З973-061/069

Рубрики:
 Кремній та його сполуки 
 Комп'ютери та програмування 

Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського