Проведено порівняльний аналіз впливу температури вакуумного відпалу плівок аморфного карбіду кремнію a-SiС та a-SiС:H на їх структуру та змочуваність розплавом олова. Плівки зі складом, близьким до стехіометричного, одержано двома методами: реактивним магнетронним розпиленням кремнію в атмосфері Ar-CH4 (a-SiС:H) та іоноплазмовим осадженням з використанням модифікованого вакуумно-дугового джерела з карбіду кремнію (a-SiС). Капілярні властивості поверхні вивчено за допомогою методу лежачої краплі в інтервалі температур від 250 до 700 <$E symbol Р>С у вакуумі <$E 1~cdot~10 sup -3> Па. Аналіз структури плівок проведено з використанням Фур'є спектроскопії та спектроскопії комбінаційного розсіювання світла. Показано, что зміни змочуваності та підвищення адгезії рідкого олова до поверхні плівок внаслідок термовідпалу узгоджуються із змінами їх структури та хімічного стану поверхні. Для a-SiС плівок спостерігається упорядкування міжатомних зв'язків та утворення нанокристалітів карбіду кремнію. Для a-SiС:H плівок спостерігається видалення водню, який пасивує поверхню, кластеризація вільного аморфного вуглецю та видалення його з поверхні за підвищення температури.

• Васін Андрій Володимирович (фізико-математичні науки)
• Лисенко Володимир Сергійович (1940–) (фізико-математичні науки)
• Красовський Віталій Петрович (хімічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"