Наведено результати дослідження впливу дефектів на розподіл концентрації легуючої домішки по поверхні й глибині пластин монокристалічного кремнію. Установлено, що розподіл концентрації легуючої домішки по поверхні пластини пов'язаний з розподілом концентрації кисню, який, у свою чергу, зв'язаний зі структурою пластини кремнію. Процеси легування приводять до виникнення структурних дефектів у вигляді дислокаційних сіток в обсязі пластин кремнію, які преципітовані киснем, причому, не спостерігалося скупчення легуючої домішки біля дислокаційних сіток з концентрацією, яка перевищує середню.

• Кулініч Олег Анатолійович (1955–) (фізико-математичні науки)
• Кулініч Оксана Андріївна (економічні науки)
• Яцунський Ігор Ростиславович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"