Досліджено вплив температурної обробки на питомий електричний опір, температурний коефіцієнт опору і фазовий склад двошарових плівкових систем на основі Ti й Al та Ti й Ni, загальна товщина яких не перевищує 100 нм. Показано, що відпалювання зразків при <$E T sub roman в> = 800 К призводить до твердофазних реакцій між Al і оксидом Ti (плівки Ti/Al) та Ti й Ni (плівки Ni/Ti), продуктами яких є TiAl3 і Ni3Ti (у зразках, відпалених до 900 - 1000 K, фіксуються фази NiTi і NiTi2). Виявлено кореляцію між фазовим складом і електрофізичними властивостями двошарових плівкових систем.

• Гричановська Тетяна Михайлівна (фізико-математичні науки)
• Чорноус Анатолій Миколайович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"