На основі експериментально встановлених залежностей швидкості розчинення кварцевого тигля в розплаві кремнію від температури та тиску газу в камері вирощування розроблено математичну модель процесу легування кристалів кремнію киснем. За допомогою моделі проведено оцінку чутливості початкової (максимальної) концентрації кисню в кристалі до флуктуацій основних технологічних параметрів. Одержані результати дозволяють зробити висновки, що середня концентрація кисню в кристалі визначається середньою температурою розплаву, а характер розподілу кисню в кристалі залежить як від початкової маси розплаву, так і від геометричної форми тигля, а також меншою мірою від діаметра кристала. В цьому разі концентрація кисню практично не залежить від динамічних параметрів процесу вирощування. Адекватність запропонованої моделі експериментально підтверджено значеннями параметрів кристалів, одержаних за реальних промислових умов.

• Петренко Василь Радіславович (технічні науки)
• Тербан Віктор Андрійович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"