За допомогою методу рентгенографічного, резистометричного аналізу і Оже-електронної спектроскопії досліджено вплив Pt на термостабільність моносиліциду NiSi, сформованого в нанорозмірній плівковій композиції (НПК) [Ni + Pt(7,8, 19 % ат.)] 30 нм/Si(001). Платина як легувальний елемент уводилася у плівку нікелю шляхом співосадження на монокристалічний кремній орієнтації (001) під час одержання досліджуваної плівкової композиції з використанням магнетронного методу. Зразки відпалювали у вакуумі, не нижчому за <$E10 sup -3> Па, в інтервалі температур 670 - 1270 К протягом 30 с. Виявлено, що легування плівки нікелю платиною в кількості 7,8 і 19 % ат. підвищує термостабільність фази NiSi в НПК [Ni + Pt(7,8, 19 % ат.)] 30 нм/Si(001) до 1170 К. Низькі значення електроопору зразків, які відповідають існуванню низькоомної фази NiSi, зберігаються в інтервалі температур 870 - 1170 К.

• Сидоренко Сергій Іванович (1947–) (технічні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1966–) (філологічні науки)
• Павлова Олена Петрівна (фізико-математичні науки)
• Вербицька Тетяна Іванівна (технічні науки)
• Богданов Сергій Євгенович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"