Проведено дослідження морфології поверхні, електрофізичних характеристик та газової чутливості структур метал - кремній з поверхневим шаром пористого кремнію, модифікованого платиною і міддю. Показано, що механізм адсорбції сірководню в структурах з шарами нанопористого кремнію, заповненими міддю, полягає у хімічній взаємодії молекул сірководню з атомами міді та утворенні нової фази CuS, яка і призводить до зміни бар'єру Шотткі метал - кремній. Відновлення таких структур можливо за рахунок прогріву в 50 % суміші Ar та <$E roman H sub 2> за температури до 300 <$E symbol Р>C. Встановлено, що застосування тонких шарів нанопористого кремнію, заповненого міддю, призводить до підсилення адсорбоелектричних ефектів в Al - PS(Cu) - Si структурах. Досліджено зв'язок між морфологією, хімічним складом нанопористого кремнію та чутливістю Шотткі структур до сірководню. Встановлено механізм підсилення адсорбції молекул воднемістких газів, зокрема сірководню. У випадку структур з шарами пористого кремнію, модифікованого платиною, механізм газової чутливості визначається наявністю проміжного поруватого шару, каталітично активного металу (Pt), типом провідності кремнієвої підкладки і параметрами адсорбованих молекул. Встановлено, що збільшення товщини проміжного поруватого шару обумовлює зростання газової чутливості поверхнево-бар'єрних структур. Визначено вплив на газову чутливість складу газового середовища (насичені пари води та ацетон), технології виготовлення та режиму роботи поверхнево-бар'єрних структур.

• Євтух Анатолій Антонович (фізико-математичні науки)
• Євтух Анатолій Анатолійович (хімічні науки)
• Горбанюк Тетяна Іванівна (фізико-математичні науки)
• Литовченко Володимир Григорович (1931–2021) (фізико-математичні науки)
• Солнцев В'ячеслав Сергійович (фізико-математичні науки)
• Кузнецов Геннадій Васильович (фізико-математичні науки)
• Скришевський Валерій Антонович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"