РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»


Бази даних


Реферативна база даних - результати пошуку


Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000186552<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Євтух А. А. 
Газова чутливість структур з шаром пористого кремнію, модифікованого металом / А. А. Євтух, Т. І. Горбанюк, Д. Данилюк, В. Г. Литовченко, В. С. Солнцев, Г. В. Кузнецов, В. А. Скришевський, Г. І. Циганова // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2008. - № 3. - С. 45-53. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.

Проведено дослідження морфології поверхні, електрофізичних характеристик та газової чутливості структур метал - кремній з поверхневим шаром пористого кремнію, модифікованого платиною і міддю. Показано, що механізм адсорбції сірководню в структурах з шарами нанопористого кремнію, заповненими міддю, полягає у хімічній взаємодії молекул сірководню з атомами міді та утворенні нової фази CuS, яка і призводить до зміни бар'єру Шотткі метал - кремній. Відновлення таких структур можливо за рахунок прогріву в 50 % суміші Ar та <$E roman H sub 2> за температури до 300 <$E symbol Р>C. Встановлено, що застосування тонких шарів нанопористого кремнію, заповненого міддю, призводить до підсилення адсорбоелектричних ефектів в Al - PS(Cu) - Si структурах. Досліджено зв'язок між морфологією, хімічним складом нанопористого кремнію та чутливістю Шотткі структур до сірководню. Встановлено механізм підсилення адсорбції молекул воднемістких газів, зокрема сірководню. У випадку структур з шарами пористого кремнію, модифікованого платиною, механізм газової чутливості визначається наявністю проміжного поруватого шару, каталітично активного металу (Pt), типом провідності кремнієвої підкладки і параметрами адсорбованих молекул. Встановлено, що збільшення товщини проміжного поруватого шару обумовлює зростання газової чутливості поверхнево-бар'єрних структур. Визначено вплив на газову чутливість складу газового середовища (насичені пари води та ацетон), технології виготовлення та режиму роботи поверхнево-бар'єрних структур.


Індекс рубрикатора НБУВ: З852.2 + В379.222

Рубрики:

Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського