Євтух А. А. Газова чутливість структур з шаром пористого кремнію, модифікованого металом / А. А. Євтух, Т. І. Горбанюк, Д. Данилюк, В. Г. Литовченко, В. С. Солнцев, Г. В. Кузнецов, В. А. Скришевський, Г. І. Циганова // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2008. - № 3. - С. 45-53. - Бібліогр.: 10 назв. - укp.Проведено дослідження морфології поверхні, електрофізичних характеристик та газової чутливості структур метал - кремній з поверхневим шаром пористого кремнію, модифікованого платиною і міддю. Показано, що механізм адсорбції сірководню в структурах з шарами нанопористого кремнію, заповненими міддю, полягає у хімічній взаємодії молекул сірководню з атомами міді та утворенні нової фази CuS, яка і призводить до зміни бар'єру Шотткі метал - кремній. Відновлення таких структур можливо за рахунок прогріву в 50 % суміші Ar та <$E roman H sub 2> за температури до 300 <$E symbol Р>C. Встановлено, що застосування тонких шарів нанопористого кремнію, заповненого міддю, призводить до підсилення адсорбоелектричних ефектів в Al - PS(Cu) - Si структурах. Досліджено зв'язок між морфологією, хімічним складом нанопористого кремнію та чутливістю Шотткі структур до сірководню. Встановлено механізм підсилення адсорбції молекул воднемістких газів, зокрема сірководню. У випадку структур з шарами пористого кремнію, модифікованого платиною, механізм газової чутливості визначається наявністю проміжного поруватого шару, каталітично активного металу (Pt), типом провідності кремнієвої підкладки і параметрами адсорбованих молекул. Встановлено, що збільшення товщини проміжного поруватого шару обумовлює зростання газової чутливості поверхнево-бар'єрних структур. Визначено вплив на газову чутливість складу газового середовища (насичені пари води та ацетон), технології виготовлення та режиму роботи поверхнево-бар'єрних структур. Індекс рубрикатора НБУВ: З852.2 + В379.222
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|