Детально исследованы физико-химические процессы, протекающие в системе Si - O - N - C. Установлены области оптимальных соотношений компонентов при переменных значениях температуры и постоянном давлении, обеспечивающие максимальный выход кремния, его карбида и нитрида. На основании результатов термодинамического моделирования впервые построены отдельные температурные разрезы и фазовая диаграмма системы Si - O - N - C для давления газовой фазы 101 кПа.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"