За допомогою методу високочастотного реактивного магнетронного розпилення алюмінієвої мішені в газовій суміші Ar i N2 (відповідно 1:3,5) одержано полікристалічні плівки AlN товщиною 0,5 - 1 мкм на підкладках із монокристалічного кремнію n-Si(100) із питомим опором <$E 500~roman {Ом~cdot~см}>. Досліджено морфологію поверхні й оптичні властивості плівок AlN/n-Si(100) (спектри відбивання в діапазоні 200 - 750 нм, еліпсометрію, спектри поглинання в діапазоні 2 - 25 мкм). Показано, що одержані плівки є оптично однорідними в широкому діапазоні довжин хвиль (ультрафіолетовому, видимому та інфрачервоному діапазонах) і їх можна ефективно використовувати в тонкоплівковій технології для виготовлення сучасних мікро- й оптоелектронних приладів.

• Бойко Вячеслав Геннадійович (культурологія)
• Бойко Володимир Григорович (технічні науки)
• Генцарь Петро Олексійович (фізико-математичні науки)
• Литвин Оксана Степанівна (фізико-математичні науки)
• Сопінський Микола Вікторович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"