![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000191404<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Глушков О. В. Нові оптимальні схеми лазерно-фотоіонізаційного методу очищення напівпровідникових речовин та виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні / О. В. Глушков, Я. І. Лепіх, С. В. Амбросов, О. Ю. Хецеліус // Укр. фіз. журн. - 2008. - 53, № 10. - С. 1023-1027. - Бібліогр.: 21 назв. - укp.Розроблено нові схеми лазерно-фотоіонізаційної технології контролю й очищення напівпровідникових матеріалів і виготовлення плівок особливо чистого складу на атомному рівні. Наведено нову схему відповідної установки. Комп'ютерно змодельовано оптимальну схему виготовлення плівок особливо чистого складу на прикладі 3D гетероструктурних суперграток (шари <$E {roman Ga} sub 1-x {roman Al} sub x roman As> і GaAs). Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|