Кіпріч В. І. Обчислення концентраційних профілів при осадженні плівок з низькоенергетичного іонного пучка / В. І. Кіпріч, Г. В. Корніч, А. І. Бажин // Укр. фіз. журн. - 2008. - 53, № 2. - С. 152-157. - Бібліогр.: 26 назв. - укp.На базі дифузійного наближення опису перенесення речовини під дією іонного пучка розроблено математичну модель процесу напилення тонких плівок. Розраховано об'ємні профілі концентрацій компонентів, що формуються у процесі напилення плівки нікелю на мідну підкладку для енергій іонів 100, 200 і 400 еВ і щільності іонного потоку <$E I~=~10 sup 15 ,~10 sup 16> і <$E 10 sup 17~1 "/" ( roman {см sup 2~cdot~с})>. Оцінку модельних параметрів напилення одержано за допомогою програм SUSPRE і SRIM. Порівняно одержані профілі концентрацій компонентів. Індекс рубрикатора НБУВ: К663.232.2-1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|