Ширшов Ю. М. Определение оптических констант тонких пленок на поверхности золота из ППР-зависимостей: детальный анализ целевой функции вблизи минимума / Ю. М. Ширшов, Г. В. Бекетов, С. А. Зыньо, З. И. Казанцева, А. В. Самойлов, Е. Р. Суровцева, Ю. В. Ушенин, Е. Ф. Венгер // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2007. - Вып. 42. - С. 56-64. - Библиогр.: 21 назв. - рус.Предложено усовершенствование процедуры подгонки экспериментальных и рассчитанных кривых поверхностного плазмонного резонанса (ППР), что позволяет расширить возможности одновременного определения показателя преломления, коэффициента экстинкции и толщины тонких пленок на поверхности золота. Суть процедуры заключается в детальном исследовании формы минимума целевой функции вдоль одной из переменных (толщины). Проведено численное моделирование процесса подгонки и влияния случайных погрешностей на найденные значения параметров. Показано, что если задаваемая кривая с точностью до 5 значащих цифр совпадает с моделью, то даже при очень малой толщине пленки (менее 3 нм) использование предложенной процедуры позволяет экстрагировать толщину пленки с точностью 0,1 нм, а показатель преломления и коэффициент экстинкции - с точностью 0,01. Введение случайных отклонений в точную ППР-кривую приводит к ошибкам в определении d, n и k. Для очень тонких пленок (3 - 6 нм) экстрагированное значение d уменьшено, а n и k увеличены. Однако для пленок толщиной более 10 нм даже достаточно сильные случайные отклонения (до 1 - 3 %) в интенсивности отраженного луча не значительно ухудшают точности определения всех трех параметров. Предложенная процедура апробирована на известном объекте - Ленгмюр - Блоджетт (ЛБ)-слоях арахиновой кислоты. Полученные значения толщины ЛБ-монослоя и показателя преломления оказались близкими к известным. Індекс рубрикатора НБУВ: В374.2
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|