Вивчено особливості трансформації системи точкових дефектів і пружних деформацій у приповерхневих шарах кремнію, підданих імплантації іонами <$E roman B sup +> і <$E roman As sup +> за одночасної (in situ) дії ультразвуку (УЗ). Як метод вивчення структурної досконалості імплантованих структур використано багатокристальну рентгенівську дифрактометрію. За допомогою методу мас-спектрометрії вторинних постіонізованих нейтральних частинок досліджено товщинні розподіли імплантованих домішок після термічного відпалу зразків і вплив на них УЗ-обробки. Показано, що імплантація <$E roman B sup +> у зразки Si призводить до збільшення механічних напружень у приповерхневій області пластини. Додаткова дія УЗ під час імплантації призводить не лише до деякого зменшення напружень, але й до зміни знака деформації, що викликано перерозподілом точкових дефектів, а також варіаціями їх розмірів. Відпал зразків за температури <$E T~=~800~symbol Ш~950~symbol Р roman C> призводить до релаксації напружень як у вихідних зразках, так і в імплантованих незалежно від типу іонів, а дія УЗ ще більше стимулює цей процес релаксації. Запропоновано фізичну модель виявлених ефектів.

Індекс рубрикатора НБУВ: В379.222

Рубрики:

Дефекти напівпровідників

Шифр НБУВ: Ж26988 Пошук видання у каталогах НБУВ 

---

Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)

• Гудименко Олександр Йосипович (фізико-математичні науки)
• Кладько Василь Петрович (1957–) (фізико-математичні науки)
• Мельник Віктор Павлович (1963–) (фізико-математичні науки)
• Мельник Володимир Петрович (юридичні науки)
• Мельник Валентин Павлович (технічні науки)
• Мельник Володимир Петрович (1952–) (філософські науки)
• Оліх Ярослав Михайлович (фізико-математичні науки)
• Попов Всеволод Геннадійович (фізико-математичні науки)
• Попов Валентин Георгійович (фізико-математичні науки)
• Слободян Микола Васильович (фізико-математичні науки)
• Слободян Мар'яна Вікторівна (філологічні науки)
• Слободян Микола Васильович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"