Проведены зондовые измерения параметров плазмы вакуумной дуги с титановым катодом при наличии азота в объеме вакуумной камеры. Изучены особенности получения покрытий на образцах малых размеров (порядка протяженности слоя объемного заряда ионов на границе плазма - поверхность конденсации). Исследования показали, что с ростом давления газа в разрядном промежутке происходит увеличение концентрации плазмы, обусловленное снижением энергии ионов металла при столкновениях с частицами газа. Столкновения ионов металла с молекулами газа приводят к хаотизации плазмы. Снижение энергии ионов и хаотизация плазменного потока обусловливают высокие скорости осаждения покрытий на основе нитрида титана в области давлений азота ~ 1,5:2 Па на образцах малого размера. В области давлений азота ~ 1,5:2 Па при обработке изделий следует учитывать их взаимное влияние друг на друга.

• Хороших Володимир Максимович (фізико-математичні науки)
• Білоус Віталій Арсентійович (1944–) (геологічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"