За допомогою методів рентгенофазового аналізу, мас-спектрометрії вторинних іонів, електронної Оже-спектроскопії, растрової електронної мікроскопії та резистометрії досліджено процеси реакційної дифузії в тонкоплівковій системі Ti(30 нм)/Si(111) при відпалі в проточному азоті в інтервалі температур 723 - 1273 К. Виявлено закономірності структурних та фазових перетворень, послідовність твердотільних реакцій, пошаровий перерозподіл компонентів на всіх етапах відпалу, роль зовнішньої поверхні в дифузійному масопереносі компонентів, особливості морфології поверхні у процесі формування включень силіцидних фаз.

• Волошко Світлана Михайлівна (1960–) (фізико-математичні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1947–) (технічні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1966–) (філологічні науки)
• Павлова Олена Петрівна (фізико-математичні науки)
• Костюченко Віталій Геннадійович (ветеринарні науки)
• Замулко Сергій Олександрович (технічні науки)
• Конорев Сергій Ігорович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"