Мельник П. І. Спектрометрія в субмікронній технології BIC / П. І. Мельник, С. П. Новосядлий, В. М. Бережанський, В. М. Вівчарук // Фізика і хімія твердого тіла. - 2007. - 8, № 4. - С. 791-800. - Бібліогр.: 19 назв. - укp.Розроблено методи контролю складу поверхні шарів субмікронних структур BIC, що охоплюють широкий діапазон спектрів від інфрачервоних хвиль, прозорих для кремнію, до частинок у вигляді пучків електронів, протонів, нейтронів та <$E alpha>-частинок. Індекс рубрикатора НБУВ: В344.1
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж26618 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|