РЕФЕРАТИВНА БАЗА ДАНИХ "УКРАЇНІКА НАУКОВА"
Abstract database «Ukrainica Scientific»
НОВІ
НАДХОДЖЕННЯ
ПОШУК
РУБРИКАТОР

Бази даних

Реферативна база даних - результати пошуку

Книжкові видання та компакт-диски
Журнали та продовжувані видання
Автореферати дисертацій
Реферативна база даних
Наукова періодика України
Тематичний навігатор
Авторитетний файл імен осіб
Вид пошуку
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000196008<.>)
Загальна кількість знайдених документів : 1

Новосядлий С. П. 
Спосіб підвищення теплостійкості багатошарової металізації субмікронних структур BIC / С. П. Новосядлий, Р. М. Іванюк // Металлофизика и новейшие технологии. - 2007. - 29, № 11. - С. 1495-1506. - Бібліогр.: 11 назв. - укp.

Досліджено багатошарову металізацію на основі Al - Si - H0 - TiW, TiS2 - TiN - TiW, Ti + АКГ0-1 в структурах великих інтегральних схем. Показано, що стабільності кремнієвих інтегральних субмікронних схем на основі алюмінієвої металізації можна досягнути за рахунок рівноважного розсіяння теплоти в площі контактного вікна. Визначено оптимальні співвідношення між шарами АКГ0 та TiN, TiW, які дають змогу створювати термічно стабільні субмікронні структури на основі алюмінієвої металізації та збільшити тепловіддачу від кристала через внутрішні перемички на зовнішні виводи мікросхем.


Індекс рубрикатора НБУВ: З844.15-01

Рубрики:
 Інтегральні схеми 

Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ 
Додаткова інформація про автора(ів) публікації:
(cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці)
  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
 
Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського
Відділ наукового формування національних реферативних ресурсів
Інститут проблем реєстрації інформації НАН України

Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського