Паустовский А. В. Структура и свойства резистивных толстых пленок после лазерной обработки / А. В. Паустовский, Б. М. Рудь, В. Е. Шелудько, Е. Я. Тельников, В. В. Кременицкий, П. С. Смертенко, И. В. Захарченко, А. А. Рогозинская, В. Н. Ткач // Фіз.-хім. механіка матеріалів. - 2007. - 43, № 6. - С. 79-85. - Библиогр.: 23 назв. - рус.Досліджено вплив лазерного проміння на структуру й електрофізичні властивості резистивних товстих плівок на основі твердого розчину <$E roman {BaB sub 6~-~LaB sub 6}>. Показано, що під час лазерної обробки у мілісекундному діапазоні Ba та La дифундують у підкладку, а мікро- та наносекундне лазерне випромінювання зумовлює подрібнення струмопровідних ланцюжків та утворення областей з дискретною структурою. Проведено диференційний аналіз вольтамперних характеристик і визначено температурні залежності електроопору R і ТКС. Лазерна обробка в мікро- та наносекундному діапазонах незначно підвищує електроопір. Це можна використати для прецизійної обробки товстих плівок. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж619
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж29109 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|