Волошко С. М. Структурно-концентраційні неоднорідності при формуванні силіцидних фаз в плівковій системі Ti(5 нм)/Ni(24 нм)/Si(001) / С. М. Волошко, Ю. М. Макогон, С. І. Сидоренко, О. П. Павлова, С. І. Конорев // Металлофизика и новейшие технологии. - 2007. - 29, № 10. - С. 1361-1368. - Бібліогр.: 3 назв. - укp.За допомогою методів оже-спектроскопії та мас-спектрометрії вторинних іонів, малокутової дифракції електронів, рентгенофазового і резистометричного аналізу досліджено твердотільні реакції в тонкоплівковій системі Ti(5 нм)/Ni(24 нм)/Si(001) при відпалі в проточному азоті в інтервалі температур 723 - 1273 К. Виявлено закономірності фазових перетворень, послідовність твердотільних реакцій, пошаровий перерозподіл компонентів на всіх етапах відпалу, особливості морфології поверхні під час формування включень силіцидних фаз. Індекс рубрикатора НБУВ: К202.6 + В379.226
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14161 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|