Покриття із карбонітриду кремнію (SiCN) на кремнієвих підкладках одержано шляхом газофазового осадження, активованого плазмою, за умови використання як вихідних матеріалів метилтрихлорсилану азоту та водню. Характеризацію покриттів проведено за допомогою атомного силового мікроскопа, методу рентгенографії і аналізу Фур'є-образу інфрачервоних спектрів поглинання. Механічні властивості визначено з використанням методу наноіндентування. Абразивну зносостійкість досліджено методом куля - шліф, адгезію до основи - методом дряпання. На підставі рентгенографічний аналіз показано, що покриття, виготовлені за помірних потоків азоту, складаються із нанокристалів <$E beta>-C3N4, які розосереджені в аморфній матриці <$E alpha>-SiCN. Збільшення потоку азоту призводить до аморфізації плівок. Тести, проведені за методикою куля - шліф, показали, що наноструктуровані покриття мають найвищу стійкість проти абразивного зносу. Результати досліджень дозволяють стверджувати, що плівки SiCN, осаджені у разі використання метилтрихлорсилану, демонструють добрі механічні та трибологічні властивості і можуть бути використані як зносостійкі покриття.

• Іващенко Людмила Анатоліївна (економічні науки)
• Іващенко Людмила Андріївна (технічні науки)
• Іващенко Володимир Іванович (1956–) (фізико-математичні науки)
• Порада Олександр Карпович (технічні науки)
• Дуб Сергій Миколайович (технічні науки)
• Скринський Петро Лукич (технічні науки)
• Ушаков Михайло Віталійович (технічні науки)
• Карпець Мирослав Васильович (1958–) (фізико-математичні науки)
• Карпець Марія Василівна (технічні науки)
• Стегній Анатолій Іванович (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"