Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000196902<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Томашик З. Ф. Травильні композиції на основі розчинів HNO3 - HBr - розчинник для хімічної обробки поверхні InAs, InAs(Sn), InSb та GaAs / З. Ф. Томашик, В. М. Томашик, Н. В. Кусяк // Оптоэлектроника и полупроводниковая техника. - 2007. - Вып. 42. - С. 80-83. - Бібліогр.: 9 назв. - укp.Досліджено характер процесу хімічного травлення монокристалів InAs, InAs(Sn), InSb і GaAs у травильних композиціях систем HBr - HNO3 - розчинник. На підставі одержаних експериментальних даних і результатів мікроструктурного та профілографічного аналізів протравленої поверхні розроблено й оптимізовано склади травильних сумішей і технологічні режими для хіміко-динамічного полірування вказаних напівпровідникових матеріалів. Індекс рубрикатора НБУВ: Ж68
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж60673 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|