Предложено описание автоматизированной системы, посредством которой по описанию топологии микроэлектронных схем подготавливается входная информация для устройств, изготавливающих фотошаблоны. Входная информация представляет собой описание последовательности прямоугольников. Выбор этой последовательности во многом определяет производительность этих устройств и качество получаемых фотошаблонов. Приведено описание задач, решаемых системой, а также ее структура.

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"