Книжкові видання та компакт-диски Журнали та продовжувані видання Автореферати дисертацій Реферативна база даних Наукова періодика України Тематичний навігатор Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000200893<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Дуб С. Н. Влияние азота на механические свойства тонких пленок системы Ta - B - N / С. Н. Дуб, А. А. Гончаров, В. В. Петухов // Сверхтвердые материалы. - 2009. - № 2. - С. 3-11. - Библиогр.: 16 назв. - рус.Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Ta - B - N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени <$E roman TaB sub 2> в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta - B - N по сравнению с нанокристаллическими пленками <$E roman TaB sub 2>. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязкоупругое механическое поведение тонких пленок системы Ta - B - N. Індекс рубрикатора НБУВ: К663-18
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж14159 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|