Получены аморфно-кристаллические тонкие пленки системы Ta - B - N на стальной подложке ВЧ-магнетронным реактивным распылением мишени <$E roman TaB sub 2> в газовой смеси азота и аргона. Исследовано влияние содержания азота в смеси на механические свойства пленок. Установлено, что формирование аморфно-кристаллической структуры приводит к снижению нанотвердости, модуля упругости и повышению пластичности пленок Ta - B - N по сравнению с нанокристаллическими пленками <$E roman TaB sub 2>. Образование аморфного нитрида бора также вызывает вязкоупругое механическое поведение тонких пленок системы Ta - B - N.

• Петухов Вадим Вікторович (фізико-математичні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"