![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Книжкові видання та компакт-диски ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Журнали та продовжувані видання ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Автореферати дисертацій ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Реферативна база даних ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Наукова періодика України ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Тематичний навігатор ![](/irbis_nbuv/images/db_navy.gif) Авторитетний файл імен осіб
|
Пошуковий запит: (<.>ID=REF-0000201437<.>) |
Загальна кількість знайдених документів : 1
|
Хомяк В. В. Вплив вмісту кисню у робочому газі на електричні властивості тонких плівок <$E bold {{roman Zn} sub 1-x {roman Mn} sub x roman O}>, одержаних реактивним магнетронним розпилюванням / В. В. Хомяк // Сенсор. електрон. і мікросистем. технології. - 2009. - № 1. - С. 61-63. - Бібліогр.: 3 назв. - укp.Досліджено вплив процентного співвідношення суміші робочих газів кисню і аргону, температури осадження підкладки і подальшого відпалу на питомий опір плівок <$E {roman Zn} sub 1-x {roman Mn} sub x roman O> (<$E 0~symbol Г~х~symbol Г~0,10>), одержаних за допомогою методу ВЧ-магнетронного розпилювання. Показано можливість цілеспрямованого керування електричними властивостями даних плівок за допомогою зміни технологічних умов вирощування. Індекс рубрикатора НБУВ: З843.395
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж24835 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|
|
|