Степаненко А. О. Вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівкових систем на основі Ti та Al, отриманих магнетронним методом / А. О. Степаненко, Л. В. Дехтярук, А. М. Чорноус // Вісн. Сум. держ. ун-ту. Сер. Фізика, математика, механіка. - 2008. - № 2. - С. 124-128. - Бібліогр.: 17 назв. - укp.Досліджено вплив температурної обробки на фазовий склад багатошарових плівкових систем [Ti/Al]n загальною товщиною до 100 нм і з ефективною товщиною моношарів 2 нм, одержаних за допомогою магнетронного методу. Показано, що у свіжосконденсованому стані плівки є аморфними, а їх термообробка за температури 870 K призводить до зародження оксидної фази Al2O3. Відпалювання за температури 933 K викликає формування фази TiAl. Індекс рубрикатора НБУВ: К202.6
Рубрики:
Шифр НБУВ: Ж69231 Пошук видання у каталогах НБУВ Додаткова інформація про автора(ів) публікації: (cписок формується автоматично, до списку можуть бути включені персоналії з подібними іменами або однофамільці) ![](/irbis_nbuv/images/info.png) Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"
|