За допомогою методів спектральної еліпсометрії, рентгеноструктурного фазового аналізу та резистометрії досліджено вплив термічної обробки на фазоутворення в періодичній (45 бішарів) багатошаровій плівковій композиції [Ta(3,3 нм)/Si(6,6 нм)]45/Si(001) із середнім за об'ємом складом TaSi2. Установлено закономірності змін оптичних властивостей та енергетичного спектра електронів внаслідок втрати трансляційної симетрії в дисиліциді танталу.

• Кудрявцев Юрій Володимирович (фізико-математичні науки)
• Павлова Олена Петрівна (фізико-математичні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1947–) (технічні науки)
• Сидоренко Сергій Іванович (1966–) (філологічні науки)
• Вербицька Тетяна Іванівна (технічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"