Описана аппаратура аналитического канала обратного рассеяния ионов с высоким разрешением, созданного в Институте прикладной физики НАН Украины. Отличительной особенностью аппаратуры является применение магнитного спектрометра с двойной фокусировкой. Для магнитного спектрометра разработаны система питания и автоматизированная система сбора данных, что позволило обеспечить гибкость и оперативность управления спектрометром, сократить время проведения эксперимента, а также упростить процесс обработки данных. Это дало возможность проводить анализ пленочных структур толщиной от нескольких нанометров до нескольких микрон. Экспериментально определены предельное энергетическое разрешение спектрометра, составляющее <$E 3,2~cdot~10 sup -3>, и телесный угол, равный <$E 3,5~cdot~10 sup -3> стерадиан. Приведены спектры обратного рассеяния протонов и их моделирование с помощью компьютерной программы SIMNRA. Определены толщина и стехиометрический состав исследованной пленочной структуры.

• Денисенко Віталій Леонідович (технічні науки)
• Дудник Андрій Борисович (медичні науки)
• Крамченков Андрій Борисович (фізико-математичні науки)
• Сайко Наталія Олександрівна (педагогічні науки)

  Якщо, ви не знайшли інформацію про автора(ів) публікації, маєте бажання виправити або відобразити більш докладну інформацію про науковців України запрошуємо заповнити "Анкету науковця"